Биология - Сфокусированный ионный пучок - Принцип действия
09 февраля 2011Оглавление:
1. Сфокусированный ионный пучок
2. Принцип действия
3. Устройство
Первые СИПы были созданы в начале 90-х годов. Принцип работы у СИПа похож на работу электронного микроскопа с небольшой, но существенной разницей — в СИПах используются ионный пучок вместо электронного.
Ионы галлия после ускорения электрическим полем сталкиваются с образцом. Кинетической энергии ионов достаточно, чтобы "выбивать" атомы материала из образца. При малых токах удаляется небольшое количество материала. В современных СИПах достигается разрешение около 5нм). При больших токах ионный пучок легко режет образец с субмикронной точностью.
Если образец изготовлен из непроводящего ток материала, то на его поверхности накапливаются ионы, которые отталкивают пучок ионов. Чтобы избежать этого, накопленный заряд нейтрализуется потоком электронов. СИПы последних разработок имет собственную систему изображений, поэтому нет необходимости использовать электронный микроскоп для контроля процесса обработки.
Просмотров: 10294
|
|